技术参数：

Ÿ 应用领域：用于透射电子显微镜（TEM）样品载网和支持膜的清洗及表面处理

Ÿ 等离子产生方式：ICP电感耦合射频等离子

Ÿ 射频电源：功率≤50W，13.56MHZ

Ÿ  样品台：Ø90mm，带16位铜网专用夹具1个

Ÿ 真空泵：螺杆式干泵

Ÿ  抽速：8m3/h

Ÿ  抽真空时间：＜1min

Ÿ  真空规：皮拉尼真空计

Ÿ 样品腔室：耐划伤石英玻璃，容积＜1.5L

Ÿ  工作真空度：10-100Pa

Ÿ  操作模式：触屏操作

Ÿ  工艺要求：可提供包含负染样品，膜蛋白样品，可溶性蛋白样品以及超薄碳膜载网工艺参数

Ÿ 气体控制：恒定压强闭环控制

Ÿ  电源：100-220V 50/60MHz