技术参数：

  Ÿ 通入H2, O2, Ar三路气体,标准10psi(200Kpa)输送压力，气体流速可以通过改变面板上的电位计来调节各组分流速。

  Ÿ 耦合高频(13.56兆赫)等离子体发生系统，采用特色Downstream设计：无热效应,石英和不锈钢等离子体室,离子体能量小于12 eV,输出功率：2~50 W，连续可调。

  Ÿ 配备观察窗：可观察等离子体激活状态。

  Ÿ 腔室样品尺寸：89mm×89mm（直径×高度）。

  Ÿ 舱室可接收：多个SEM样品钉台，以及尺寸≥60mm × 25 mm（直径 ×高）不规则样品 ，完全满足。

  Ÿ 舱室打开方式：顶开门方式。

  Ÿ 真空系统：由80 L/s 的分子泵和隔膜泵泵组成。