技术参数：

  Ÿ 机切片厚度范围为0-15m，厚度连续可调，样品臂步进精度为1nm。

  Ÿ 样品臂总行程为1mm。

  Ÿ 样品臂返回速度为0-100mm/s连续可调节，调节精度为0.1mm/s。

  Ÿ 机切片速度控制范围为0.1-100mm/s，连续可调，调节精度为0. 1mm/s。

  Ÿ 切削冲程范围为0-15mm，连续可调。